真空成膜装置用大容量リアクトル

半導体や太陽電池等の製造に使用される真空成膜装置に搭載する大容量リアクトルです。
本リアクトルは、電磁的・熱的・機械的にバランスのとれた高性能なエッジワイズ巻線コイルを採用しました。